Onto Innovation Inc. beschäftigt sich mit dem Design, der Entwicklung, Herstellung und Unterstützung von Prozesssteuerungswerkzeugen, die weltweit Makrodefektprüfung und Messtechnik, Lithographiesysteme und Prozesssteuerungsanalysesoftware durchführen. Es bietet Prozess- und Ertragsmanagementlösungen sowie Geräteverpackungs- und Testeinrichtungen durch eigenständige Systeme für Makrodefektprüfung, Verpackungslithographie, Test und Analyse von Prüfkarten und transparente und opake Dünnschichtmessungen; und ein Prozesssteuerungssoftwareportfolio, das Lösungen für eigenständige Werkzeuge, Werkzeuggruppen oder fabrikweite Suiten umfasst. Das Unternehmen bietet auch Ersatzteile und Softwarelizenzdienste an. Seine Produkte werden von Herstellern von Halbleiterwafern und fortschrittlichen Verpackungsgeräten verwendet; Siliziumwafer; Leuchtdioden; vertikaler oberflächenemittierender Laser; mikroelektromechanisches System; CMOS-Bildsensor; Leistungsgeräte; HF-Filter; Datenspeicherung; und verschiedene industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Das Unternehmen war früher als Rudolph Technologies, Inc. bekannt. Onto Innovation Inc. wurde 1940 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Wilmington, Massachusetts.