Onto Innovation Inc. se dedica al diseño, desarrollo, fabricación y soporte de herramientas de control de procesos que realizan inspección de macrodefectos y metrología, sistemas de litografía y software analítico de control de procesos en todo el mundo. Ofrece soluciones de gestión de procesos y rendimiento, e instalaciones de prueba y embalaje de dispositivos a través de sistemas independientes para inspección de macrodefectos, litografía de embalaje, prueba y análisis de tarjetas de sonda y mediciones de películas delgadas transparentes y opacas; y cartera de software de control de procesos que incluye soluciones para herramientas independientes, grupos de herramientas o conjuntos para toda la fábrica. La empresa también ofrece repuestos y servicios de licencias de software. Sus productos son utilizados por fabricantes de obleas semiconductoras y dispositivos de embalaje avanzados; oblea de silicio; diodo emisor de luz; láser de emisión superficial de cavidad vertical; sistema microelectromecánico; sensor de imagen CMOS; dispositivo de energía; filtro de radiofrecuencia; almacenamiento de datos; y diversas aplicaciones industriales y científicas. La empresa se conocía anteriormente como Rudolph Technologies, Inc. Onto Innovation Inc. se fundó en 1940 y tiene su sede en Wilmington, Massachusetts.