рдПрдордХреЛрд░ рдЯреЗрдХреНрдиреЛрд▓реЙрдЬреА, рдЗрдВрдХ. рд╕рдВрдпреБрдХреНрдд рд░рд╛рдЬреНрдп рдЕрдореЗрд░рд┐рдХрд╛, рдЬрд╛рдкрд╛рди, рдпреВрд░реЛрдк, рдордзреНрдп рдкреВрд░реНрд╡, рдЕрдлреНрд░реАрдХрд╛ рдФрд░ рд╢реЗрд╖ рдПрд╢рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╢рд╛рдВрдд рдореЗрдВ рдЖрдЙрдЯрд╕реЛрд░реНрд╕реНрдб рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдкреИрдХреЗрдЬрд┐рдВрдЧ рдФрд░ рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рд╕реЗрд╡рд╛рдПрдБ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд╡реЗрдлрд░ рдмрдВрдк, рд╡реЗрдлрд░ рдкреНрд░реЛрдм, рд╡реЗрдлрд░ рдмреИрдХ-рдЧреНрд░рд╛рдЗрдВрдб, рдкреИрдХреЗрдЬ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди, рдкреИрдХреЗрдЬрд┐рдВрдЧ рдФрд░ рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рдФрд░ рдбреНрд░реЙрдк рд╢рд┐рдкрдореЗрдВрдЯ рд╕реЗрд╡рд╛рдУрдВ рд╕рд╣рд┐рдд рдЯрд░реНрдирдХреА рдкреИрдХреЗрдЬрд┐рдВрдЧ рдФрд░ рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рд╕реЗрд╡рд╛рдПрдБ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рдХрдВрдкрдиреА рд╕реНрдорд╛рд░реНрдЯрдлрд╝реЛрди, рдЯреИрдмрд▓реЗрдЯ рдФрд░ рдЕрдиреНрдп рдореЛрдмрд╛рдЗрд▓ рдЙрдкрднреЛрдХреНрддрд╛ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдлрд╝реНрд▓рд┐рдк рдЪрд┐рдк рд╕реНрдХреЗрд▓ рдкреИрдХреЗрдЬ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рднреА рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддреА рд╣реИ; рдлрд╝реНрд▓рд┐рдк рдЪрд┐рдк рд╕реНрдЯреИрдХреНрдб рдЪрд┐рдк рд╕реНрдХреЗрд▓ рдкреИрдХреЗрдЬ рдЬрд┐рдирдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдореЗрдореЛрд░реА рдХреЛ рд╕реНрдЯреИрдХ рдХрд░рдиреЗ рдФрд░ рдореЛрдмрд╛рдЗрд▓ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдореЗрдВ рдПрдкреНрд▓рд┐рдХреЗрд╢рди рдкреНрд░реЛрд╕реЗрд╕рд░ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ; рдФрд░ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рдиреЗрдЯрд╡рд░реНрдХрд┐рдВрдЧ, рд╕реНрдЯреЛрд░реЗрдЬ, рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд┐рдВрдЧ рдФрд░ рдЙрдкрднреЛрдХреНрддрд╛ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдлрд╝реНрд▓рд┐рдк рдЪрд┐рдк рдмреЙрд▓ рдЧреНрд░рд┐рдб рдРрд░реЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдпрд╣ рд╡реЗрдлрд╝рд░-рд▓реЗрд╡рд▓ CSP рдкреИрдХреЗрдЬ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдЬрд┐рдирдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдкрд╛рд╡рд░ рдореИрдиреЗрдЬрдореЗрдВрдЯ, рдЯреНрд░рд╛рдВрд╕реАрд╡рд░, рд╕реЗрдВрд╕рд░, рд╡рд╛рдпрд░рд▓реЗрд╕ рдЪрд╛рд░реНрдЬрд┐рдВрдЧ, рдХреЛрдбреЗрдХреНрд╕ рдФрд░ рд╕реНрдкреЗрд╢рд▓рд┐рдЯреА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ; IC рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡реЗрдлрд╝рд░-рд▓реЗрд╡рд▓ рдлрд╝реИрди-рдЖрдЙрдЯ рдкреИрдХреЗрдЬ; рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡реЗрдлрд╝рд░ рдЗрдВрдЯреАрдЧреНрд░реЗрдЯреЗрдб рдлрд╝реИрди-рдЖрдЙрдЯ рддрдХрдиреАрдХ, рдЬреЛ рдПрдХ рд▓реЗрдорд┐рдиреЗрдЯ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЛ рдПрдХ рдкрддрд▓реА рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рд╕реЗ рдмрджрд▓ рджреЗрддреА рд╣реИред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдХрдВрдкрдиреА рд▓реАрдб рдлреНрд░реЗрдо рдкреИрдХреЗрдЬ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддреА рд╣реИ рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрдо рд╕реЗ рдордзреНрдпрдо рдкрд┐рди рдХрд╛рдЙрдВрдЯ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ; рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ-рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рд╡рд╛рдпрд░рдмреЙрдиреНрдб рдкреИрдХреЗрдЬ, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдбрд╛рдИ рдХреЛ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рд╕реЗ рдЬреЛрдбрд╝рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ; рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛ-рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛ-рдореИрдХреЗрдирд┐рдХрд▓ рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдо (MEMS) рдкреИрдХреЗрдЬ рдЬреЛ рдХрд┐ рд▓рдШреБрдХреГрдд рдпрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рдФрд░ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛ-рдореИрдХреЗрдирд┐рдХрд▓ рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рд╣реИрдВ; рдФрд░ рдЙрдиреНрдирдд рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдо-рдЗрди-рдкреИрдХреЗрдЬ рдореЙрдбреНрдпреВрд▓, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рд░реЗрдбрд┐рдпреЛ рдлреНрд░реАрдХреНрд╡реЗрдВрд╕реА рдФрд░ рдлреНрд░рдВрдЯ рдПрдВрдб рдореЙрдбреНрдпреВрд▓, рдмреЗрд╕рдмреИрдВрдб, рдХрдиреЗрдХреНрдЯрд┐рд╡рд┐рдЯреА, рдлрд┐рдВрдЧрд░рдкреНрд░рд┐рдВрдЯ рд╕реЗрдВрд╕рд░, рдбрд┐рд╕реНрдкреНрд▓реЗ рдФрд░ рдЯрдЪ рд╕реНрдХреНрд░реАрди рдбреНрд░рд╛рдЗрд╡рд░, рд╕реЗрдВрд╕рд░ рдФрд░ MEMS, рдФрд░ NAND рдореЗрдореЛрд░реА рдФрд░ рд╕реЙрд▓рд┐рдб рд╕реНрдЯреЗрдЯ рдбреНрд░рд╛рдЗрд╡ рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рдореБрдЦреНрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рдПрдХреАрдХреГрдд рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ, рдлреИрдмрд▓реЗрд╕ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдХрдВрдкрдирд┐рдпреЛрдВ, рдореВрд▓ рдЙрдкрдХрд░рдг рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдФрд░ рдЕрдиреБрдмрдВрдз рдлрд╛рдЙрдВрдбреНрд░реАрдЬ рдХреЛ рд╕реЗрд╡рд╛ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рдПрдордХреЛрд░ рдЯреЗрдХреНрдиреЛрд▓реЙрдЬреА, рдЗрдВрдХ. рдХреА рд╕реНрдерд╛рдкрдирд╛ 1968 рдореЗрдВ рд╣реБрдИ рдереА рдФрд░ рдЗрд╕рдХрд╛ рдореБрдЦреНрдпрд╛рд▓рдп рдЯреЗрдореНрдкреЗ, рдПрд░рд┐рдЬрд╝реЛрдирд╛ рдореЗрдВ рд╣реИред