Amtech Systems, Inc рджреБрдирд┐рдпрд╛ рднрд░ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛рд░реНрдмрд╛рдЗрдб (SiC), рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд╛рд╡рд░ рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕, рдПрдирд╛рд▓реЙрдЧ рдФрд░ рдбрд┐рд╕реНрдХреНрд░реАрдЯ рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕, рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЕрд╕реЗрдВрдмрд▓рд┐рдпреЛрдВ рдФрд░ рдкреНрд░рдХрд╛рд╢ рдЙрддреНрд╕рд░реНрдЬрдХ рдбрд╛рдпреЛрдб (LED) рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреВрдВрдЬреАрдЧрдд рдЙрдкрдХрд░рдг рдФрд░ рд╕рдВрдмрдВрдзрд┐рдд рдЙрдкрднреЛрдЧреНрдп рд╕рд╛рдордЧреНрд░рд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдФрд░ рдмрд┐рдХреНрд░реА рдХрд░рддреА рд╣реИред рдХрдВрдкрдиреА рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдФрд░ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдФрд░ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдЦрдВрдбреЛрдВ рдореЗрдВ рдХрд╛рдо рдХрд░рддреА рд╣реИред рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдЦрдВрдб рдерд░реНрдорд▓ рдкреНрд░реЛрд╕реЗрд╕рд┐рдВрдЧ рдЙрдкрдХрд░рдг рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди, рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг, рдмрд┐рдХреНрд░реА рдФрд░ рд╕реЗрд╡рд╛ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде-рд╕рд╛рде рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕, рдСрдЯреЛрдореЛрдЯрд┐рд╡ рдФрд░ рдЕрдиреНрдп рдЙрджреНрдпреЛрдЧреЛрдВ рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реЛрд▓реНрдбрд░ рд░рд┐рдлреНрд▓реЛ рдУрд╡рди, рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрди рдлрд░реНрдиреЗрд╕ рдФрд░ рдЧреНрд░рд╛рд╣рдХ рдЙрдЪреНрдЪ-рддрд╛рдкрдорд╛рди рдмреЗрд▓реНрдЯ рдлрд░реНрдиреЗрд╕ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВ; рдФрд░ рд╡реЗрдлрд░ рдкреЙрд▓рд┐рд╢рд┐рдВрдЧ рдЙрдкрдХрд░рдг рдФрд░ рд╕рдВрдмрдВрдзрд┐рдд рд╕реЗрд╡рд╛рдПрдВред рдЗрд╕рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджреЛрдВ рдореЗрдВ рдХреНрд╖реИрддрд┐рдЬ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рднрдЯреНрдЯрд┐рдпрд╛рдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВ; рдФрд░ рдмреЗрд▓реНрдЯ рднрдЯреНрдЯрд┐рдпрд╛рдВ 3D рдЗрдореЗрдЬ рдЯреНрд░рд╛рдВрд╕рдорд┐рд╢рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рдЧреНрд▓рд╛рд╕ рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ рдШрдЯрдХ; рджреВрд░рд╕рдВрдЪрд╛рд░ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рдФрд░ рд╕рд┐рд░реЗрдорд┐рдХ рдШрдЯрдХ; рдФрд░ рдЪрд┐рдХрд┐рддреНрд╕рд╛ рдЙрдкрдХрд░рдг рдШрдЯрдХ, рдФрд░ рдСрдкреНрдЯрд┐рдХрд▓ рдФрд░ рдлреЛрдЯреЛрдирд┐рдХреНрд╕ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧред рдпрд╣ рдЦрдВрдб рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рд╡рд┐рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рд░рд╕рд╛рдпрди рднреА рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ рдорд┐рд╢реНрд░рд┐рдд рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╡реЗрдлрд╝рд░ рдФрд░ рдСрдкреНрдЯрд┐рдХреНрд╕ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВред рдХрдВрдкрдиреА рдЕрдкрдиреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджреЛрдВ рдХреЛ рдмрд┐рдХреНрд░реА рдХрд░реНрдорд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде-рд╕рд╛рде рд╕реНрд╡рддрдВрддреНрд░ рдмрд┐рдХреНрд░реА рдкреНрд░рддрд┐рдирд┐рдзрд┐рдпреЛрдВ рдФрд░ рд╡рд┐рддрд░рдХреЛрдВ рдХреЗ рдиреЗрдЯрд╡рд░реНрдХ рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рдмреЗрдЪрддреА рд╣реИред рдХрдВрдкрдиреА рдХреЛ рдкрд╣рд▓реЗ рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рдЗрдВрдЬреАрдирд┐рдпрд░рд┐рдВрдЧ рдПрдВрдб рдордЯреАрд░рд┐рдпрд▓реНрд╕, рдЗрдВрдХ. рдХреЗ рдирд╛рдо рд╕реЗ рдЬрд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рдерд╛ рдФрд░ 1987 рдореЗрдВ рдЗрд╕рдХрд╛ рдирд╛рдо рдмрджрд▓рдХрд░ рдПрдордЯреЗрдХ рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдореНрд╕, рдЗрдВрдХ. рдХрд░ рджрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ред рдПрдордЯреЗрдХ рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдореНрд╕, рдЗрдВрдХ. рдХреЛ 1981 рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдФрд░ рдЗрд╕рдХрд╛ рдореБрдЦреНрдпрд╛рд▓рдп рдЯреЗрдореНрдкреЗ, рдПрд░рд┐рдЬрд╝реЛрдирд╛ рдореЗрдВ рд╣реИред