рд▓реИрдо рд░рд┐рд╕рд░реНрдЪ рдХреЙрд░реНрдкреЛрд░реЗрд╢рди рдПрдХреАрдХреГрдд рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдкреНрд░рд╕рдВрд╕реНрдХрд░рдг рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреА рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди, рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг, рд╡рд┐рдкрдгрди, рдирд╡реАрдиреАрдХрд░рдг рдФрд░ рд╕реЗрд╡рд╛ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рдХрдВрдкрдиреА рдЯрдВрдЧрд╕реНрдЯрди рдзрд╛рддреБрдХрд░рдг рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЕрдиреБрд░реВрдк рдлрд┐рд▓реНрдореЛрдВ рдХреЛ рдЬрдорд╛ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП ALTUS рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдо рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддреА рд╣реИ; рдХреЙрдкрд░ рдЗрдВрдЯрд░рдХрдиреЗрдХреНрдЯ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдХреЗ рд▓рд┐рдП SABRE рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдХреЗрдорд┐рдХрд▓ рдЬрдорд╛рд╡ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рдЬреЛ рдХреЙрдкрд░ рдбреИрдорд╕реНрдХреЗрди рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ; рдлрд┐рд▓реНрдо рдЙрдкрдЪрд╛рд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП SOLA рдкрд░рд╛рдмреИрдВрдЧрдиреА рдерд░реНрдорд▓ рдкреНрд░рд╕рдВрд╕реНрдХрд░рдг рдЙрддреНрдкрд╛рдж; рдФрд░ VECTOR рдкреНрд▓рд╛рдЬреНрдорд╛-рд╡рд░реНрдзрд┐рдд CVD ALD рдЙрддреНрдкрд╛рджред рдпрд╣ SPEED рдЧреИрдкрдлрд┐рд▓ рдЙрдЪреНрдЪ рдШрдирддреНрд╡ рдкреНрд▓рд╛рдЬреНрдорд╛ рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рд╡рд╛рд╖реНрдк рдЬрдорд╛рд╡ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рднреА рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ; рдФрд░ рдбрд╛рдЗрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдлрд┐рд▓реНрдо рд╕рдорд╛рдзрд╛рдиреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реНрдЯреНрд░рд╛рдЗрдХрд░ рд╕рд┐рдВрдЧрд▓-рд╡реЗрдлрд░ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рдкрд░рдд рдЬрдорд╛рд╡ рдЙрддреНрдкрд╛рджред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдХрдВрдкрдиреА рдбрд╛рдЗрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдПрдЪ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдлреНрд▓реЗрдХреНрд╕; рдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдПрдЪ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпреЛ рдФрд░ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд╡реЗрдлрд░ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рдЙрдЪреНрдЪ рдкрд░рд┐рд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдЗрди-рд▓рд╛рдЗрди рджреНрд░рд╡реНрдпрдорд╛рди рдорд╛рдк рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдореЗрдЯреНрд░рд┐рдХреНрд╕ рдорд╛рд╕ рдореЗрдЯреНрд░реЛрд▓реЙрдЬреА рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдоред рдХрдВрдкрдиреА рд╕рдВрдпреБрдХреНрдд рд░рд╛рдЬреНрдп рдЕрдореЗрд░рд┐рдХрд╛, рдЪреАрди, рдпреВрд░реЛрдк, рдЬрд╛рдкрд╛рди, рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛, рджрдХреНрд╖рд┐рдг рдкреВрд░реНрд╡ рдПрд╢рд┐рдпрд╛, рддрд╛рдЗрд╡рд╛рди рдФрд░ рдЕрдВрддрд░рд░рд╛рд╖реНрдЯреНрд░реАрдп рд╕реНрддрд░ рдкрд░ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдЙрджреНрдпреЛрдЧ рдХреЛ рдЕрдкрдиреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рдФрд░ рд╕реЗрд╡рд╛рдПрдБ рдмреЗрдЪрддреА рд╣реИред рд▓реИрдо рд░рд┐рд╕рд░реНрдЪ рдХреЙрд░реНрдкреЛрд░реЗрд╢рди рдХреА рд╕реНрдерд╛рдкрдирд╛ 1980 рдореЗрдВ рд╣реБрдИ рдереА рдФрд░ рдЗрд╕рдХрд╛ рдореБрдЦреНрдпрд╛рд▓рдп рдлреНрд░реЗрдореЛрдВрдЯ, рдХреИрд▓рд┐рдлреЛрд░реНрдирд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ рд╣реИред