ऑन्टो इनोवेशन इंक. प्रक्रिया नियंत्रण उपकरणों के डिजाइन, विकास, निर्माण और समर्थन में संलग्न है जो मैक्रो दोष निरीक्षण और मेट्रोलॉजी, लिथोग्राफी सिस्टम और प्रक्रिया नियंत्रण विश्लेषणात्मक सॉफ़्टवेयर को दुनिया भर में निष्पादित करता है। यह मैक्रो-दोष निरीक्षण, पैकेजिंग लिथोग्राफी, जांच कार्ड परीक्षण और विश्लेषण, और पारदर्शी और अपारदर्शी पतली फिल्म माप के लिए स्टैंडअलोन सिस्टम के माध्यम से प्रक्रिया और उपज प्रबंधन समाधान और डिवाइस पैकेजिंग और परीक्षण सुविधाएं प्रदान करता है; और प्रक्रिया नियंत्रण सॉफ़्टवेयर पोर्टफोलियो जिसमें स्टैंडअलोन टूल, टूल के समूह या फ़ैक्टरी-वाइड सूट के लिए समाधान शामिल हैं। कंपनी स्पेयर पार्ट्स और सॉफ़्टवेयर लाइसेंसिंग सेवाएँ भी प्रदान करती है। इसके उत्पादों का उपयोग सेमीकंडक्टर वेफ़र और उन्नत पैकेजिंग डिवाइस निर्माताओं द्वारा किया जाता है; सिलिकॉन वेफ़र; प्रकाश उत्सर्जक डायोड; ऊर्ध्वाधर-गुहा सतह-उत्सर्जक लेजर; माइक्रो-इलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम; CMOS इमेज सेंसर; पावर डिवाइस; RF फ़िल्टर; डेटा स्टोरेज; और विभिन्न औद्योगिक और वैज्ञानिक अनुप्रयोग। कंपनी को पहले रूडोल्फ़ टेक्नोलॉजीज, इंक. के नाम से जाना जाता था। ऑन्टो इनोवेशन इंक. की स्थापना 1940 में हुई थी और इसका मुख्यालय विलमिंगटन, मैसाचुसेट्स में है।