Onto Innovation Inc. terlibat dalam desain, pengembangan, manufaktur, dan dukungan alat kontrol proses yang melakukan pemeriksaan cacat makro dan metrologi, sistem litografi, dan perangkat lunak analitik kontrol proses di seluruh dunia. Perusahaan ini menawarkan solusi manajemen proses dan hasil, serta pengemasan perangkat dan fasilitas pengujian melalui sistem mandiri untuk inspeksi cacat makro, litografi pengemasan, pengujian dan analisis kartu probe, serta pengukuran film tipis transparan dan buram; dan portofolio perangkat lunak kontrol proses yang mencakup solusi untuk alat mandiri, kelompok alat, atau rangkaian seluruh pabrik. Perusahaan juga menyediakan layanan lisensi suku cadang dan perangkat lunak. Produk-produknya digunakan oleh wafer semikonduktor dan produsen perangkat pengemasan canggih; wafer silikon; dioda pemancar cahaya; laser pemancar permukaan rongga vertikal; sistem mikro-elektromekanis; sensor gambar CMOS; perangkat listrik; penyaring RF; penyimpanan data; dan berbagai aplikasi industri dan ilmiah. Perusahaan ini sebelumnya dikenal sebagai Rudolph Technologies, Inc. Onto Innovation Inc. didirikan pada tahun 1940 dan berkantor pusat di Wilmington, Massachusetts.