Onto Innovation Inc. è impegnata nella progettazione, sviluppo, produzione e supporto di strumenti di controllo di processo che eseguono ispezione di macrodifetti e metrologia, sistemi di litografia e software analitico di controllo di processo in tutto il mondo. Offre soluzioni di gestione del processo e della resa, nonché strutture di confezionamento e test dei dispositivi attraverso sistemi autonomi per l'ispezione di macro-difetti, litografia di imballaggio, test e analisi di sonde card e misurazioni di film sottili trasparenti e opachi; e un portafoglio di software per il controllo dei processi che include soluzioni per strumenti autonomi, gruppi di strumenti o suite per l'intero stabilimento. L'azienda fornisce anche pezzi di ricambio e servizi di licenza software. I suoi prodotti sono utilizzati dai produttori di wafer semiconduttori e di dispositivi di confezionamento avanzati; wafer di silicio; diodo ad emissione luminosa; laser a emissione superficiale a cavità verticale; sistema microelettromeccanico; sensore di immagine CMOS; dispositivo di potenza; filtro RF; archivio dati; e varie applicazioni industriali e scientifiche. La società era precedentemente nota come Rudolph Technologies, Inc. Onto Innovation Inc. è stata fondata nel 1940 e ha sede a Wilmington, Massachusetts.