Lam Research

Lam Research Corporation は、集積回路の製造に使用される半導体処理機器の設計、製造、販売、改修、およびサービスを提供しています。同社は、タングステン メタライゼーション アプリケーション用のコンフォーマル フィルムを堆積する ALTUS システム、銅ダマシン製造を可能にする銅配線遷移用の SABRE 電気化学堆積製品、フィルム処理用の SOLA 紫外線熱処理製品、および VECTOR プラズマ強化 CVD ALD 製品を提供しています。また、ギャップフィル高密度プラズマ化学気相堆積製品 SPEED、および誘電体フィルム ソリューション用の Striker シングル ウェーハ原子層堆積製品も提供しています。さらに、同社は誘電体エッチング アプリケーション用の Flex、導体エッチング アプリケーション用の Kiyo、シリコン貫通ビア エッチング アプリケーション用の Syndion、および金属エッチング プロセス用の Versys 金属製品を提供しています。さらに、ダイの歩留まりを向上させる Coronus ベベル クリーン製品、さまざまなウェーハ洗浄アプリケーションに対応する Da Vinci、DV-Prime、EOS、および SP シリーズ製品を提供しています。半導体ウェーハ製造における高精度インライン質量測定用の Metryx 質量計測システム。同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、および世界中の半導体業界に製品とサービスを販売しています。Lam Research Corporation は 1980 年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。