Entegris, Inc.๋ ๋ถ๋ฏธ, ๋๋ง, ํ๊ตญ, ์ผ๋ณธ, ์ค๊ตญ, ์ ๋ฝ ๋ฐ ๊ธฐํ ์ง์ญ์ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๊ธฐํ ์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ฐ์
์ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ์ํ ๋ฏธ์ธ ์ค์ผ ์ ์ด ์ ํ, ํน์ ํํ ๋ฌผ์ง ๋ฐ ์ฒจ๋จ ์์ฌ ์ฒ๋ฆฌ ์๋ฃจ์
์ ๊ฐ๋ฐ, ์ ์กฐ ๋ฐ ๊ณต๊ธํฉ๋๋ค. ๋๋จ์์์. SCEM(ํน์ํํ๋ฌผ์ง ๋ฐ ๊ณตํ์ฌ๋ฃ); ๋ฏธ์ธ ์ค์ผ ๊ด๋ฆฌ(MC); ๋ฐ ๊ณ ๊ธ ์์ฌ ์ทจ๊ธ(AMH). SCEM ๋ถ๋ฌธ์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ, ๊ณ ์๋ ๊ณต์ ํํ, ๊ฐ์ค, ์ฌ๋ฃ๋ฟ ์๋๋ผ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ณ ๊ธ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ์ง์ํ๋ ์ ๋ฌ ์์คํ
๋ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. MC ๋ถ๋ฌธ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ฐ ๊ธฐํ ์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ฐ์
์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ค์ํ ์ก์ฒด ํํ ๋ฌผ์ง๊ณผ ๊ฐ์ค๋ฅผ ํํฐ๋งํ๊ณ ์ ํํ๋ ์๋ฃจ์
์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. AMH ๋ถ๋ฌธ์ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๊ธฐํ ์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ฐ์
์ ์ ์ฉํ ์ค์ํ ์ก์ฒด ํํ ๋ฌผ์ง, ์จ์ดํผ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ธฐํ์ ๋ชจ๋ํฐ๋ง, ๋ณดํธ, ์ด์ก ๋ฐ ์ ๊ณตํ๋ ์๋ฃจ์
์ ๊ฐ๋ฐํฉ๋๋ค. ํ์ฌ์ ๊ณ ๊ฐ์ผ๋ก๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ์น ์ ์กฐ์
์ฒด, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์ ์กฐ์
์ฒด, ๊ฐ์ค ๋ฐ ํํ ์ ์กฐ ํ์ฌ, ์จ์ดํผ ์ฌ๋ฐฐ ํ์ฌ๊ฐ ํฌํจ๋ฉ๋๋ค. ํ๋ฉด ํจ๋ ๋์คํ๋ ์ด ์ฅ๋น ์ ์กฐ์
์ฒด, ํจ๋ ์ ์กฐ์
์ฒด, ํ๋ ๋์คํฌ ๋๋ผ์ด๋ธ ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋ฐ ์ฅ์น ์ ์กฐ์
์ฒด ๋ฐ ๊ด๋ จ ์ํ๊ณ. ๋ํ ํ์๊ด ๋ฐ ์๋ช
๊ณผํ ์ฐ์
์ ์ ์กฐ์
์ฒด ๋ฐ ๊ณต๊ธ์
์ฒด, ๋ฐฉ์ ๊ฐ๊ณต ๊ณ ๊ฐ, ์ ๋ฆฌ ๋ฐ ์ ๋ฆฌ ์ฉ๊ธฐ ์ ์กฐ์
์ฒด, ํญ๊ณต์ฐ์ฃผ ์ ์กฐ์
์ฒด, ์์ฒด์ํ ์ด์ ์ฅ์น ์ ์กฐ์
์ฒด์ ์๋น์ค๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ด ํ์ฌ๋ 1966๋
์ ์ค๋ฆฝ๋์์ผ๋ฉฐ ๋งค์ฌ์ถ์ธ์ธ ์ฃผ ๋น๋ ๋ฆฌ์นด์ ๋ณธ์ฌ๋ฅผ ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.