Lam Research

Lam Research Corporation은 집적 회로 제조에 사용되는 반도체 처리 장비를 설계, 제조, 판매, 개조 및 서비스합니다. 이 회사는 텅스텐 금속화 응용 분야를 위한 컨포멀 필름을 증착하는 ALTUS 시스템을 제공합니다. 구리 다마신 제조를 제공하는 구리 상호 연결 전이용 SABRE 전기화학 증착 제품; 필름 처리용 SOLA 자외선 열처리 제품; 및 VECTOR 플라즈마 강화 CVD ALD 제품. 또한 SPEED 갭필 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 제품을 제공합니다. 유전체 필름 솔루션을 위한 Striker 단일 웨이퍼 원자층 증착 제품. 또한 이 회사는 유전체 에칭 애플리케이션을 위한 Flex를 제공합니다. 도체 에칭 응용 분야를 위한 Kiyo; 식각 애플리케이션을 통한 실리콘 통과용 신디온; 그리고 금속 식각 공정을 위한 Versys 금속 제품. 또한 다이 수율을 높이기 위해 Coronus 베벨 클린 제품을 제공합니다. 다양한 웨이퍼 세정 응용 분야를 다루는 Da Vinci, DV-Prime, EOS 및 SP 시리즈 제품; 반도체 웨이퍼 제조 시 고정밀 인라인 질량 측정을 위한 Metryx 질량 계측 시스템. 이 회사는 미국, 중국, 유럽, 일본, 한국, 동남아시아, 대만 및 해외의 반도체 산업에 제품과 서비스를 판매합니다. Lam Research Corporation은 1980년에 설립되었으며 캘리포니아주 프리몬트에 본사를 두고 있습니다.