Onto Innovation Inc. terlibat dalam reka bentuk, pembangunan, pembuatan dan sokongan alat kawalan proses yang melaksanakan pemeriksaan kecacatan makro dan metrologi, sistem litografi dan perisian analitik kawalan proses di seluruh dunia. Ia menawarkan penyelesaian pengurusan proses dan hasil, serta kemudahan pembungkusan dan ujian peranti melalui sistem kendiri untuk pemeriksaan kecacatan makro, litografi pembungkusan, ujian dan analisis kad siasatan, dan ukuran filem nipis yang telus dan legap; dan portfolio perisian kawalan proses yang merangkumi penyelesaian untuk alatan kendiri, kumpulan alatan atau suite seluruh kilang. Syarikat itu juga menyediakan alat ganti dan perkhidmatan pelesenan perisian. Produknya digunakan oleh wafer semikonduktor dan pengeluar peranti pembungkusan termaju; wafer silikon; Diod pemancar cahaya; laser pemancar permukaan rongga menegak; sistem mikro-elektromekanikal; Sensor imej CMOS; peranti kuasa; Penapis RF; simpanan data; dan pelbagai aplikasi perindustrian dan saintifik. Syarikat itu dahulunya dikenali sebagai Rudolph Technologies, Inc. Onto Innovation Inc. telah diasaskan pada tahun 1940 dan beribu pejabat di Wilmington, Massachusetts.