Onto Innovation Inc. houdt zich bezig met het ontwerp, de ontwikkeling, de productie en de ondersteuning van procescontroletools die macro-defectinspectie en metrologie, lithografiesystemen en procescontrole-analytische software over de hele wereld uitvoeren. Het biedt oplossingen voor proces- en opbrengstbeheer, en verpakkings- en testfaciliteiten voor apparaten via zelfstandige systemen voor inspectie van macrodefecten, verpakkingslithografie, tests en analyse van sondekaarten, en transparante en ondoorzichtige dunne-filmmetingen; en procesbesturingssoftwareportfolio met oplossingen voor zelfstandige tools, groepen tools of fabrieksbrede suites. Het bedrijf levert ook reserveonderdelen en softwarelicentiediensten. De producten worden gebruikt door fabrikanten van halfgeleiderwafels en geavanceerde verpakkingsapparatuur; siliciumwafel; lichtgevende diode; oppervlakte-emitterende laser met verticale holte; micro-elektromechanisch systeem; CMOS-beeldsensor; machtsapparaat; RF-filter; data opslag; en diverse industriële en wetenschappelijke toepassingen. Het bedrijf was voorheen bekend als Rudolph Technologies, Inc. Onto Innovation Inc. werd opgericht in 1940 en heeft zijn hoofdkantoor in Wilmington, Massachusetts.