Axcelis Technologies, Inc. āļāļāļāđāļāļ āļāļĨāļīāļ āđāļĨāļ°āđāļŦāđāļāļĢāļīāļāļēāļĢāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļ·āđāļāđ āļāļĩāđāđāļāđāđāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļīāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļŠāļŦāļĢāļąāļāļāđāļĄāļĢāļīāļāļē āļĒāļļāđāļĢāļ āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļĩāļĒ āļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāļģāđāļŠāļāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļĨāļđāļāļāđāļēāļĒāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļŠāļđāļ āļāļĢāļ°āđāļŠāļŠāļđāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āđāļŠāļāļēāļāļāļĨāļēāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļ§āļēāļĄāļāđāļāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ āļāļāļāļāļēāļāļāļĩāđāļĒāļąāļāļāļąāļāļŦāļēāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāđāļĨāļ°āļāļĢāļīāļāļēāļĢāļŦāļĨāļąāļāļāļēāļĢāļāļēāļĒāļāļĨāļāļāļāļēāļĒāļļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ āļĢāļ§āļĄāļāļķāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāļāļĩāđāđāļāđāđāļĨāđāļ§ āļāļ°āđāļŦāļĨāđ āļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļĢāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ āļāļĢāļīāļāļēāļĢāļāļģāļĢāļļāļāļĢāļąāļāļĐāļē āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļķāļāļāļāļĢāļĄāļĨāļđāļāļāđāļē āļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāļģāļŦāļāđāļēāļĒāļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļĨāļ°āļāļĢāļīāļāļēāļĢāđāļŦāđāļāļąāļāļāļđāđāļāļĨāļīāļāļāļīāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļāđāļēāļāļāļāļąāļāļāļēāļāļāļēāļĒāļāļĢāļ āļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāđāļāļāļąāđāļāļāļķāđāļāđāļāļāļĩ 1978 āđāļĨāļ°āļĄāļĩāļŠāļģāļāļąāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāđāļāđāļĄāļ·āļāļāđāļāđāļ§āļāļĢāđāļĨāļĩ āļĢāļąāļāđāļĄāļŠāļāļēāļāļđāđāļāļāļŠāđ