Amtech Systems, Inc. āļāļĨāļīāļāđāļĨāļ°āļāļģāļŦāļāđāļēāļĒāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļļāļāđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāļŠāļīāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāđāļāđāđāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ (SiC) āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļāļāļ°āļĨāđāļāļāđāļĨāļ°āđāļāļāđāļĒāļ āļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāđāļāļĨāđāļāđāļŠāļ (LED) āļāļąāđāļ§āđāļĨāļ āļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāļģāđāļāļīāļāļāļļāļĢāļāļīāļāđāļāļŠāđāļ§āļāđāļāđāļāđāļĄāļāļāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāđāļĨāļ°āļāļąāļāļŠāđāļāļĢāļ āļŠāđāļ§āļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļāļāļāđāļāļ āļāļĨāļīāļ āļāļģāļŦāļāđāļēāļĒ āđāļĨāļ°āđāļŦāđāļāļĢāļīāļāļēāļĢāļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļāļĢāļĢāļđāļāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ āļĢāļ§āļĄāļāļķāļāđāļāļēāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāļĢāļĩ āļĢāļĩāđāļāļĨāļ§āđ āđāļāļēāļŦāļĨāļāļĄ āđāļĨāļ°āđāļāļēāļŠāļēāļĒāļāļēāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŠāļđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļĨāļđāļāļāđāļēāđāļāļ·āđāļāđāļāđāđāļāļĒāļāļđāđāļāļĨāļīāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ āđāļāđāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āļĒāļēāļāļĒāļāļāđ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļ·āđāļ āđ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļąāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļāļĢāļīāļāļēāļĢāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļ āļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāļāļāļāļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāđāļ§āļĒāđāļāļēāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāđāļāļ§āļāļāļ āđāļĨāļ°āđāļāļēāļŠāļēāļĒāļāļēāļ āļŠāđāļ§āļāļāļēāļāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļĨāļ°āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĨāļīāļāđāļĨāļ°āļāļģāļŦāļāđāļēāļĒāļ§āļąāļŠāļāļļāļŠāļīāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļąāļāļĢāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļĨāļ°āļāļąāļāđāļāļēāļ§āļąāļŠāļāļļ āđāļāđāļ āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļāļāđāļāļĢāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāđāļ LED āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđ āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ LED āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĨāļąāļāļāļēāļ āļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāđāļāđāļ§āđāļĨāļ°āļāļīāļĨāļīāļāļēāļāđāļēāļāđ āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ āļēāļ 3 āļĄāļīāļāļī āļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļ§āļāļāļāđāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļēāļĄāļīāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļāļĢāļāļĄāļāļēāļāļĄ āđāļĨāļ°āļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļāļĒāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļāļāļāļīāļāđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāļīāļāļŠāđ āļŠāđāļ§āļāļāļĩāđāļĒāļąāļāļāļģāđāļŠāļāļāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļąāļāļŠāđāļāļĢāļāđāļāļ·āđāļāđāļāđāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāđāļēāļāđ āļĢāļ§āļĄāļāļķāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ āđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĨāļ°āđāļāļāļāļŠāļĄ āđāļĨāļ°āļāļāļāļāļīāļ āļāļĢāļīāļĐāļąāļāļāļģāļŦāļāđāļēāļĒāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāļāđāļēāļāļāļāļąāļāļāļēāļāļāļēāļĒ āļāļĨāļāļāļāļāđāļāļĢāļ·āļāļāđāļēāļĒāļāļąāļ§āđāļāļāļāļēāļĒāđāļĨāļ°āļāļđāđāļāļąāļāļāļģāļŦāļāđāļēāļĒāļāļīāļŠāļĢāļ° āļāļĢāļīāļĐāļąāļāđāļāļīāļĄāļāļ·āđāļ Quartz Engineering & Materials, Inc. āđāļĨāļ°āđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļ·āđāļāđāļāđāļ Amtech Systems, Inc. āđāļāļāļĩ 1987 Amtech Systems, Inc. āļāđāļāļāļąāđāļāđāļāļāļĩ 1981 āđāļĨāļ°āļĄāļĩāļŠāļģāļāļąāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāđāļāđāļĄāļ·āļāļāđāļāļĄāļāļĩ āļĢāļąāļāđāļāļĢāļīāđāļāļāļē